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阴极（jí）发（fā）光是（shì）一种光谱分析方（fāng）法，通过电子束（shù）轰击材料产生发光后，用来在局部范围内鉴别材料（liào）中的点缺（quē）陷和杂质（zhì）缺陷，应用（yòng）于微电子，半导体材料（liào），绝（jué）缘体，地质学和（hé）矿物学（xué）等领域。
